设备名称：高真空退火炉

生产厂家：待更新

规格型号：Mo丝，加热最高温度1350℃，PID智能温控；复合分子泵抽速：600L/S；0-5SCM质量流量控制器；真空度：1×10↑-5Pa。

技术指标：待更新

设备名称：探针台电学测量系统

生产厂家：待更新

规格型号： 最小测试漏电流为10-12 A，探针曲率半径为0.5 μm，显微镜最大放大倍率为400倍，配合电学测试系统，适合测量1微米或以上线宽的器件的电学性质，最多可以进行四极测量。

技术指标：可用于大尺寸硅片（最大6英寸）或集成器件检测，能进稳定和精确的移动和探针测量。

设备名称：紫外可见光谱仪

生产厂家：待更新

规格型号：主机波长范围175-3300nm

技术指标：待更新

设备名称：电子束-热阻真空镀膜机

生产厂家：待更新

规格型号：极限真空度5×10↑-6mbar；电子束和热阻两种方式；中心Z

技术指标：待更新

设备名称：真空退火炉

生产厂家：待更新

规格型号：中心设施 仪器设备 实验室 仪器设备 规格与技术指标： 1、工件加热温度1100℃； 2、炉膛尺寸Ф120×L300mm； 3、工件尺寸最大不超过100mm； 4、等温区尺寸：Ф100×L100mm； 5、极限真空：8×10-5Pa； 6、工作气体：保护气

技术指标：待更新