光束诱导电流成像检测系统

        光束诱导电流成像检测系统（Light-beam induced current—LBIC—mapping system）是一种非接触式、参数成像设备，即通过单点激光在半导体表层中的吸收和光电转换，逐点探测太阳电池短路电流、扩散长度、特定波长的反射率和量子效率，并通过横向扫描（Mapping）形成短路电流在内的各种参数平面分布图像，以反映电池参数的平面均匀性。这对于前表面不同栅线分布的电池、背面局部钝化的PERC电池、PERT电池、双玻电池的表征和分析都极为重要。同时，借助短路电流对缺陷敏感特性来表征缺陷平面分布，尤其是晶界、层错和位错，为太阳能电池的结构优化和工艺改进提供参考依据。本设备物理过程清晰，可以应用于大学科研和实验教学中，也可以应用于企业的研发过程。